隔膜式计量泵通常是指液压隔膜式计量泵，由驱动机、液力端和传动端3部分所组成。驱动机和传动端结构与柱塞式计量泵基本相同，主要区别是液力端（泵头）部分。隔膜式计量泵除了液缸体、柱塞、吸入阀、排出阀和密封件外，还有隔膜、安全阀、排气阀、补油阀等。

  图2为单隔膜式计量泵。在柱塞前端装有一层隔膜（柱塞与隔膜不接触），将液力端分隔成输液腔和液压腔。输液腔连接泵吸入阀、排出阀，液压腔内充满液压油，并与泵体上端的液压油箱（补油箱）相通。当柱塞前后移动时，通过液压油将压力传给隔膜并使之前、后挠曲变形引起容积的变化，起到输送液体的作用并能满足精确计量的要求。

  隔膜常用材质为聚四氟乙烯、橡胶等，也有复合材质，而且都是圆形的。液压隔膜泵的隔膜通常只是一个圆形的薄片，白色居多，也有复合材质一面白一面黑。

  安全阀仅存在于液压隔膜泵中，当计量泵出口压力大于计量泵预设压力时，安全阀起跳保护计量泵免受过载伤害，通常为直动式溢流阀，也称直动式安全阀。

  排气阀仅存在于液压隔膜泵中。由于计量泵运行是在液压油中，难免混入空气，再由活塞运行带入泵缸之中。由于隔膜腔容积远大于活塞腔，因此这些空气因为压力作用会溢出，在隔膜腔顶端汇集，形成气泡。之后随着柱塞的往复运动，隔膜腔压力升高，气泡首先被压缩导致计量泵流量减小。长此以往，不仅对流量影响很大，而且由于空穴效应对活塞、泵缸、隔膜等零件寿命产生影响巨大。排气阀的作用在于排除泵缸内多余的气体却不排出泵头内的液压油，结构格外的简单，阀芯以及上、下两个阀座（阀芯的跳动距离很小），加上一个调节装置，使阀体的上升速度远远小于阀体的下落速度。这样就利用了阀芯上升和下落的时间差排除空气，不吸入空气。回程调节装置能是个配重体，也可以是一个弹簧，具体依设计而定。

  补油阀仅存在于液压隔膜泵中。由于计量泵柱塞泄漏、排气阀泄漏等因素，活塞腔中液压油的量会不断减少，因此就需要一种装置及时补充泄漏的液压油，补油阀应运而生。补油阀类似于一个有预设压力的止回阀，只允许液压油由箱体流向活塞腔，而不允许液压油由活塞腔流回箱体。补油阀的预设压力一般由弹簧提供，具体设计刚度、补油压差依设计而定。

  当隔膜发生破裂时，隔膜破裂报警器会输出报警信号，并且及时关闭计量泵。隔膜破裂报警器其实就是由两片隔膜加上一个感应探头构成的。两片隔膜中间充有导电硅油或是抽真空等，当隔膜破裂时，由于电容或者压力的变化探头发出警报。

  由于隔膜的隔离作用，在结构上真正的完成了被计量流体与驱动润滑机构之间的隔离。高科技的结构设计和新型材料的选用，已经大幅度的提升了隔膜的常规使用的寿命，加上复合材料优异的耐腐蚀特性，隔膜式计量泵目前慢慢的变成了流体计量应用中的主力泵型。液力驱动式隔膜泵由于采用了液压油均匀地驱动隔膜，克服了机械直接驱动方式（机械隔膜泵）下泵隔膜受力过分集中的缺点，提升了隔膜寿命和工作所承受的压力上限。为客服单隔膜式计量泵也许会出现的因隔膜破损而造成的工作故障，有的计量泵配备了隔膜破损传感器，实现隔膜破裂时自动联锁保护；具有双隔膜结构泵头的计量进一步提升了其安全性，适合对安全保护很敏感的应用场合。

  作为隔膜式计量泵的一种，电磁驱动式计量泵以电磁铁产生脉动驱动力，省去了电动机和变速机构，使得系统小巧紧凑，是小量程、低压计量泵的重要分支。现在精密计量泵技术已非常成熟，工作范围覆盖了工业生产所有领域的要求。